【電子顕微鏡】
<ULV-SEM (極低加速 走査型電子顕微鏡)>
メーカー:日本電子(株)
導入:平成29年3月2日
機能:極低加速観察、元素分析(EDS、WDS)
<FE-SEM (電界放出型 走査型電子顕微鏡)>
メーカー:日本電子(株)
導入:平成20年
機能:元素分析(EDS)、結晶方位解析(EBSD)
<TEM (電界放出型 透過型電子顕微鏡)>
メーカー:日本電子(株)
導入:平成23年
加速電圧:80~200KV(LaB6フィラメント)
機能:元素分析(EDS)、STEM機能
【集束イオンビーム加工装置】
<FIB>
メーカー:(株)日立ハイテク
導入:平成25年
加速電圧:0.5~30KV
最大電流:90nA
【プローブ顕微鏡】
<AFM (原子間力顕微鏡)>
メーカー:Park Systems
導入:平成28年
スキャンレンジ:(X-Y)100μm、(Z)15μm
試料サイズ:最大50×50mm、厚さ20mm
機能:完全非接触、液中、磁力、機械特性
【光学顕微鏡】
<デジタルマイクロスコープ>
装置名称:VM200
メーカー:(株)精密ウェーブ
導入:平成23年
倍率:×25~25,000
機能:深度剛性、3Dプロファイル
メーカー:OLYMPUS
導入:平成21年
接眼レンズ:×10
対物レンズ:×5、×10、×20、×50
<生物顕微鏡>
メーカー:OLYMPUS
導入:平成21年
接眼レンズ:×10
対物レンズ:×4、×10、×20、×40
【蒸着装置関連】
<オスミウムコーター>
メーカー:(株)Filgen
導入:平成20年
機能:オスミウム薄膜の蒸着
<イオンコーター>
メーカー:(株)日立
導入:昭和59年
機能:白金パラジウム薄膜の蒸着
メーカー:SANYU
導入:昭和59年
機能:金、カーボン等の薄膜蒸着
【乾燥機】
メーカー:BAL-TEC
導入:平成19年
機能:液体二酸化炭素による臨界点乾燥
<凍結真空乾燥機>
メーカー:(株)日立
導入:平成16年
機能:t-ブチルアルコールによる凍結真空乾燥
【薄膜試料作製関連】
<ウルトラミクロトーム>
メーカー:Lica
導入:平成8年
機能:軟試料の薄膜製作
<研磨機>
メーカー:(株)マルトー
導入:平成23年
機能:小型試料の鏡面研磨
<切断機>
メーカー:SOUTH BAY Tecorogy
導入:平成23年
機能:小型試料のカッティング
<荒研磨機>
メーカー:自作
導入:平成23年
機能:小型試料の手研磨
【接触角計】
メーカー:協和界面科学(株)
導入:平成26年
機能:接触角測定および液滴測定