【X線光電子分光分析装置（XPS）】
試料表面にＸ線を照射し、試料表面から放出される光電子の運動エネルギーを計測することで、試料表面を構成する元素の組成、化学結合状態を分析する装置
名称：PHI 5600CIM
設置場所：地域連携推進センター棟114室
設置年度：平成５年
名称：PHI 5000VersaProbe
設置場所：地域連携推進センター棟116室
設置年度：平成２１年
【飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS)】
固体試料にイオンビーム（一次イオン）を照射し、表面から放出されるイオン（二次イオン）を、その飛行時間差（飛行時間は重さの平方根に比例）を利用して質量分離する装置
名称：PHI TRIFT V nano TOF
設置場所：地域連携推進センター棟114室
設置年度：平成２１年
