【電子顕微鏡】
＜ULV-SEM （極低加速 走査型電子顕微鏡）＞
装置名称：JSM-7800 PRIME
メーカー：日本電子（株）
導入：平成２9年３月２日
機能：極低加速観察、元素分析（EDS、WDS)
＜FE-SEM （電界放出型 走査型電子顕微鏡）＞
装置名称：JSM-7001F
メーカー：日本電子（株）
導入：平成２０年
機能：元素分析（EDS)、結晶方位解析（EBSD)
＜TEM （電界放出型 透過型電子顕微鏡）＞
装置名称：JEM-2100
メーカー：日本電子（株）
導入：平成２３年
加速電圧：80～200KV（LaB６フィラメント）
機能：元素分析（EDS)、STEM機能
【集束イオンビーム加工装置】
＜FIB＞
装置名称：MI-4050
メーカー：（株）日立ハイテク
導入：平成２５年
加速電圧：0.5～30KV
最大電流：90nA
【プローブ顕微鏡】
＜AFM （原子間力顕微鏡）＞
装置名称：NX-10
メーカー：Park Systems
導入：平成２８年
ｽｷｬﾝﾚﾝｼﾞ：（X-Y）100μm、（Z）15μm
試料サイズ：最大50×50mm、厚さ20mm
機能：完全非接触、液中、磁力、機械特性
【光学顕微鏡】
＜デジタルマイクロスコープ＞
装置名称：VM200
メーカー：（株）精密ウェーブ
導入：平成２３年
倍率：×25～25,000
機能：深度剛性、3Dプロファイル
＜金属顕微鏡＞
装置名称：BX60M
メーカー：OLYMPUS
導入：平成２１年
接眼レンズ：×10
対物レンズ：×5、×10、×20、×50
＜生物顕微鏡＞
装置名称：BX41
メーカー：OLYMPUS
導入：平成２１年
接眼レンズ：×10
対物レンズ：×4、×10、×20、×40
【蒸着装置関連】
＜オスミウムコーター＞
装置名称：OPC40
メーカー：（株）Filgen
導入：平成20年
機能：オスミウム薄膜の蒸着
＜イオンコーター＞
装置名称：E-102
メーカー：（株）日立
導入：昭和59年
機能：白金パラジウム薄膜の蒸着
＜真空蒸着装置＞
装置名称：HV-100
メーカー：SANYU
導入：昭和59年
機能：金、カーボン等の薄膜蒸着
【乾燥機】
＜臨界点乾燥機＞
装置名称：CPD-030
メーカー：BAL-TEC
導入：平成19年
機能：液体二酸化炭素による臨界点乾燥
＜凍結真空乾燥機＞
装置名称：ES-2030
メーカー：（株）日立
導入：平成16年
機能：t－ブチルアルコールによる凍結真空乾燥
【薄膜試料作製関連】
＜ウルトラミクロトーム＞
装置名称：Ultra Cut S
メーカー：Lica
導入：平成8年
機能：軟試料の薄膜製作
＜研磨機＞
装置名称：ダイヤラップ
メーカー：（株）マルトー
導入：平成23年
機能：小型試料の鏡面研磨
＜切断機＞
装置名称：ダイヤモンドホイール
メーカー：SOUTH BAY Tecorogy
導入：平成23年
機能：小型試料のカッティング
＜荒研磨機＞
装置名称：ハンディラップ
メーカー：自作
導入：平成23年
機能：小型試料の手研磨
【接触角計】
装置名称：DM-700
メーカー：協和界面科学（株）
導入：平成26年
機能：接触角測定および液滴測定
