顕微鏡
【透過型電子顕微鏡（TEM）】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | JEM-2100 日本電子㈱ 地域共同研究棟 111室 平成23年 加速電圧80～200ｋV、LaB6フィラメント |
【極低加速走査電子顕微鏡（ULV-SEM）】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | JSM-7800F PRIME 日本電子㈱ 地域共同研究棟 114室 平成23年 加速電圧100V～30ｋV、EDS検出器、WDS検出器 |
【電解放出型走査電子顕微鏡（FE－SEM）】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | JSM-7001F 日本電子㈱ 地域共同研究棟 114室 平成23年 加速電圧1～30ｋV、EDS検出器、EBSD検出器 |
【原子間力顕微鏡（AFM）】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | NX-10 Park Systems 地域共同研究棟 109室 平成28年 ｽｷｬﾝﾚﾝｼﾞ：（X-Y）100μm、（Z）15μm |
イオンビーム装置
【集束イオンビーム加工装置（FIB）】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | SMI4050 日立ハイテク 地域共同研究棟 114室 平成25年 ガリウムイオン源 |