コーター類
【オスミウムコーター】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | Neoc-Pro/P メイワフォーシス（株） 地域共同研究棟 114室 令和7年3月17日 オスミウムコーティング |
【イオンコーター】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | E-102 （株）日立 地域共同研究棟 114室 昭和59年 白金パラジウムの蒸着 |
【真空蒸着装置】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | HV-100 SANYU電子 地域共同研究棟 114室 昭和59年 金、カーボン等の蒸着 |
乾燥機
【臨界点乾燥機】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | CPD-030 BAL-TEC 地域共同研究棟 114室 平成19年 液体二酸化炭素による臨界点乾燥機 |
【凍結真空乾燥機】
| 型式 製造メーカー 設置場所 設置年度 性能 | ES-2030 （株）日立 地域共同研究棟 114室 平成16年 ｔ-ブチルアルコール置換による凍結真空乾燥機 |