【X線光電子分光分析装置（XPS）】
試料表面にＸ線を照射し、試料表面から放出される光電子の運動エネルギーを計測することで、試料表面を構成する元素の組成、化学結合状態を分析する装置
名称：PHI 5600CIM
設置場所：地域連携推進センター棟114室
設置年度：平成５年
名称：PHI 5000VersaProbe
設置場所：地域連携推進センター棟116室
設置年度：平成２１年
【飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS)】
固体試料にイオンビーム（一次イオン）を照射し、表面から放出されるイオン（二次イオン）を、その飛行時間差（飛行時間は重さの平方根に比例）を利用して質量分離する装置
名称：PHI TRIFT V nano TOF
設置場所：地域連携推進センター棟114室
設置年度：平成２１年
【X線回折装置（XRD）】
周期的に規則配列した原子により散乱されたＸ線が特定の方向で干渉し、強めあう条件のとき回折を観察し、結晶構造、格子の大きを特定し、化合物の同定・定量分析や、結晶構造の解析を行う装置
名称：RINT-2200
設置場所：地域連携推進センター棟113室
設置年度：平成１７年
【薄膜X線回折分析装置（XRD）】
X線を全反射近傍で入射回折させる”In-Plane”回折法により高いS/Nで表面構造直接測定が可能
名称：ATX-G／S
設置場所：理工学部2号館103室（吉本研 実験室内）
設置年度：平成１５年
