◆利用手順
1）担当者に連絡（講習会日程の調整）
2）各装置毎に講習会を受講
3）利用登録申請書を提出
4）装置予約
5）利用
◆料金
| 装置名称 | 使用単位 | 料金 | |
| 学内 | 学外 | ||
| X線光電子分光分析装置（XPS）PHI 5600CIM | １時間 | ¥900 | ¥15,000 |
| X線光電子分光分析装置（XPS）PHI 5000VersaProbe | １時間 | ¥900 | ¥15,000 |
| 飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）PHI TRIFT V nano TOF | １時間 | ¥1,200 | ¥16,000 |
| X線回折装置および薄膜X線回折装置 | １時間 | ¥500 | ¥1,100 |
注：料金は2019年4月から適用開始、10月に改訂
